BAOSI Wassergekühlte Trockene Vakuumpumpe GRM601,600m3/h, ≤0,15Pa, 1,9+1,9kW

Eigenschaft:

• geringer Stromverbrauch,
• hohe Pumpgeschwindigkeit,
• starke Staubentfernung,
• Fähigkeit zum Transport von leicht kondensierbaren Prozessgasen.
• Durch die stabile Pumpengeschwindigkeit eignet es sich für Prozesse mit hohem Abgasvolumen, bietet hohe Zuverlässigkeit und niedrige Betriebs- und Wartungskosten.

• Benutzt einen Permanentmagnet-Synchronmotor für einen geringeren Energieverbrauch.
• Die fortschrittliche Rotorstruktur erhöht die Staubentfernungskapazität der Pumpe.
• Unempfindlich gegenüber Staub und Wasserdampf im gepumptem Gas;
• Kompakte Struktur, geringe Gesamtgröße und hohe Systemeffizienz;
• Umfassende Schutzfunktionen und starke Anpassungsfähigkeit;
• Niedrige Vibrationen und Geräusche während des Betriebs; ein fortschrittliches Lippendichtungs- und Labyrinthdichtungssystem in Kombination mit Stickstoffreinigung sorgt effektiv für eine ölfreie Pumpenkammer,Verbesserung der Vakuumreinheit der Prozesskammer.
• Fernsteuerungs- und Überwachungsfunktionen sind über die E/A-Schnittstelle und die RS-485-Schnittstelle (Moudbus-Protokoll) möglich.

Technischer Parameter

Pumpenkurve

OUTLINE DIMENSIONALE Zeichnung

Anwendung:

• In der Halbleiterindustrie sind saubere, moderate und harte Prozesse zum Beispiel Ätzen, Ionenimplantation und CVD.
• In der Photovoltaikindustrie sollten Wachstumsöfen und Zellherstellungsprozesse beachtet werden.
• In der Lithium-Ionen-Batterieindustrie sind Prozesse wie Vakuumtrocknung, Elektrolytfüllung und Entgasung von Batteriezellen von entscheidender Bedeutung.