GRH6002 Trockene Klauenvakuumpumpe 6000 m3/h Ultraschnelle Ölfreie Vakuumpumpe für Halbleiterprozesse

GRH6002 Trockenklauen-Vakuumpumpe – 6000 m³/h Ultra-Hochleistungslösung

Der GRH6001 ist das Flaggschiffmodell der GRH-Serie und liefert eine beeindruckende Pumpleistung von 6000 m³/h bei einem Enddruck von ≤0,5 Pa. Mit einem ISO250-Einlass, einer Doppelmotorkonfiguration mit 11+7,5 kW und einer robusten 846-kg-Industriekonstruktion ist er für die anspruchsvollsten Großanlagen zur Herstellung von Halbleitern, Photovoltaik- und Lithiumbatterien konzipiert.

Hauptmerkmale

• Ultrahohe Kapazität:6000 m³/h Saugvermögen – das leistungsstärkste Modell der GRH-Serie
• Ölfreie Klauentechnologie:Kein Ölverschmutzungsrisiko für empfindliche Halbleiterprozesse
• Doppelmotorsystem:11+7,5 kW Permanentmagnet-Synchronmotoren
• ISO250 großer Einlass:Bewältigt große Gasströme für große Produktionslinien
• Überlegene Staubbehandlung:Fortschrittliches Klauenrotordesign für raue Umgebungen
• Industrietaugliche Konstruktion:846 kg robuste Konstruktion mit 1076 x 516 x 988 mm Stellfläche
• Geräuscharm:≤70 dB(A) trotz hoher Pumpleistung
• Erweiterte Versiegelung:Dreischichtiger Schutz: Lippendichtung + Labyrinth + Stickstoffspülung
• Fernintelligenz:I/O + RS485 (Modbus) für vollständige Fabrikintegration

Technische Spezifikationen

Anwendungen

• Großserien-Halbleiter: Großvolumiges Ätzen, Ionenimplantation, CVD-Prozesse
• Photovoltaik-Megafabriken: Kristallwachstum und Zellherstellung im großen Maßstab
• Lithium-Batterie-Gigafabriken: Zelltrocknung, Elektrolytbefüllung, Entgasung
• Herstellung von Flachbildschirmen: LCD-, LED- und OLED-Produktionslinien