GRH1202 Trockenklauen-Vakuumpumpe, 1200 m³/h, ölfreie Industrie-Vakuumpumpe für den Halbleiter-CVD-Prozess

GRH1202 Trockene Klauen-Vakuumpumpe 1200 m3/h Ölfreie industrielle Lösung

Die GRH1202 ist eine leistungsstarke Trockenklo-Vakuumpumpe der GRH-Serie, die für anspruchsvolle Herstellungsprozesse von Halbleitern, Photovoltaik- und Lithiumbatterien entwickelt wurde.mit einer Pumpgeschwindigkeit von 1200 m3/h und einem Enddruck von ≤ 0.5 Pa, um zuverlässiges ölfreies Vakuum ohne Kontaminationsrisiko zu liefern.

Wesentliche Merkmale

• Ölfreier KlauenmechanismusDie Pumpkammer enthält kein Öl und kein Arbeitsmedium, so dass ein sauberes Vakuum für empfindliche Prozesse gewährleistet ist
• mit einer Leistung von mehr als 100 W undVerringert den Energieverbrauch im Vergleich zu konventionellen Motoren
• Weiterentwickelte Rotorkonstruktion:Verbesserte Fähigkeit zur Behandlung von Staubpartikeln in rauen Prozessumgebungen
• Staub- und Dampfverträglichkeit:Unempfindlich gegen Staub und Wasserdampf in gepumptem Gas
• Kompakter Fußabdruck:Platzeinsparendes Design mit hoher Systemintegration (821 * 420 * 791 mm)
• Umfassender Schutz:Vollschutzfunktionen mit starker Selbstanpassungsfähigkeit
• Niedrige Schwingungen und Geräusche:≤ 70 dB (A) bei Betrieb unter Höchstdruck
• Fortgeschrittene Dichtung:Lippendichtung und Labyrinthdichtung in Kombination mit Stickstoffreinigung verhindern Ölverschmutzung
• Fernbedienung:I/O-Schnittstelle und RS485 (Modbus-Protokoll) für die Fernüberwachung und -steuerung

Technische Spezifikation

Anwendungen

• Halbleiter: Ätzen, Ionenimplantation, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Photovoltaik: Kristallwachstumsöfen, Herstellung von Solarzellen
• Lithiumbatterie: Vakuumtrocknung der Zelle, Elektrolytfüllung, Entgasung