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GRM602 Mehrstufige Wurzeltrockenvakuumpumpe 600 m3/h Ölfreie Vakuumpumpe mit mittlerer Kapazität für Halbleiterprozesse
GRM602 Mehrstufige Wurzeltrockenvakuumpumpe 600 m3/h Ölfreie Vakuumpumpe mit mittlerer Kapazität für Halbleiterprozesse
  • GRM602 Mehrstufige Wurzeltrockenvakuumpumpe 600 m3/h Ölfreie Vakuumpumpe mit mittlerer Kapazität für Halbleiterprozesse

GRM602 Mehrstufige Wurzeltrockenvakuumpumpe 600 m3/h Ölfreie Vakuumpumpe mit mittlerer Kapazität für Halbleiterprozesse

Einzelheiten zum Produkt:
Herkunftsort: China
Markenname: Baosi
Zertifizierung: CE
Modellnummer: GRM601
Detailinformationen
Herkunftsort:
China
Markenname:
Baosi
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
GRM601
Pumpgeschwindigkeit:
600 m-³ /h
Ultimativer Druck:
≤0,15 Pa
Motorleistung:
1,9+1,9 kW
Stromspannung:
380V/3-Phasen
Einlass:
ISO100
Steckdose:
KF25
Lärm:
≤63 dB(A)
Gewicht:
260 kg
Abmessungen:
865×344×751 mm
Kühlwasser:
0,1–0,6 MPa, ≥4 l/min
N2-Spülung:
0,2–0,6 MPa, 12–50 l/min
Hervorheben:

High Light

Hervorheben:

GRM602 ölfreie Trockenvakuumpumpe

,

Mehrstufige Wurzelvakuumpumpe

,

Halbleiterprozess-Vakuumpumpe

Handelsinformationen
Min Bestellmenge:
1 Satz
Preis:
negotiable
Verpackung Informationen:
Exportieren Sie Standard-Holzkistenverpackungen
Lieferzeit:
15-30 Werktage
Zahlungsbedingungen:
T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:
50 Sätze/Monat
Produktbeschreibung

GRM602 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe – 600 m³/h Lösung mit mittlerer Kapazität

Die GRM601 ist eine mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe mit mittlerer Kapazität, die ein Saugvermögen von 600 m³/h und einen beeindruckenden Enddruck von ≤0,15 Pa liefert. Ihre doppelten Permanentmagnet-Synchronmotoren mit 1,9+1,9 kW sorgen für zuverlässiges ölfreies Vakuum für Halbleiter-, Photovoltaik- und Lithiumbatterieanwendungen.

Hauptmerkmale

  • Mehrstufiges Wurzeldesign:Hohes Saugvermögen bei geringem Stromverbrauch
  • Dual-Motor-Konfiguration:1,9+1,9 kW für einen ausgewogenen, effizienten Betrieb
  • Extrem niedriger Enddruck:≤0,15 Pa für anspruchsvolle Prozessanforderungen
  • Ultra-leise:≤63 dB(A) – ideal für Reinraumumgebungen
  • Ölfreier Mechanismus:Keine Ölverschmutzung für sensible Prozesse
  • Überlegenes Partikelhandling:Fortschrittliche Rotorstruktur für staubige Prozesse
  • Kompakte Integration:865 * 344 * 751 mm, 260 kg
  • Staub- und Dampfunempfindlich:Zuverlässig im Umgang mit Prozessnebenprodukten und Feuchtigkeit
  • Erweiterte Versiegelung:Lippendichtung + Labyrinth + Stickstoffspülschutz
  • Fernintelligenz:I/O und RS485 (Modbus) für die Fabrikautomation

Technische Spezifikationen

Modell GRM602
Pumpgeschwindigkeit 600 m³/h
Enddruck (ohne Spülung) ≤0,15 Pa
Motorleistung 1,9 + 1,9 kW
Stromspannung 380 V (3-phasig)
Einlassanschluss ISO100
Auslassanschluss KF25
Geräuschpegel ≤63 dB(A)
Gewicht 260 kg
Abmessungen (L*B*H) 865 * 344 * 751 mm
Kühlwasserdruck 0,1–0,6 MPa
Kühlwasserfluss ≥4 l/min
N₂-Spüldruck 0,2–0,6 MPa
N₂-Spülfluss 12–50 l/min
Betriebstemperatur 5–40°C; ≤90 % relative Luftfeuchtigkeit

Anwendungen

  • Halbleiter: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metallätzung, Siliziumätzung
  • Photovoltaik: Kristallwachstum, Herstellung von Solarzellen
  • Lithiumbatterie: Zelltrocknung, Elektrolytbefüllung, Entgasung
  • Flachbildschirme: LED- und LCD-Herstellungsprozesse

Schlagworte:

Turbovakuumpumpe,

Hochvakuumpumpe,

GRM602 ölfreie Trockenvakuumpumpe

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