Die GRM4201 ist eine große mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe, die speziell für Load-Lock-Kammern, Transferkammern und schnelle Abpumpanwendungen entwickelt wurde. Mit einer Pumpgeschwindigkeit von 4200 m³/h und einer Doppelmotorkonfiguration von 13+10 kW erfüllt es die Anforderungen der Herstellung von Heterojunction-Solarzellen und Lithiumbatterie-Gigafabriken, bei denen schnelle Zyklen und hohe Vakuumintegrität von entscheidender Bedeutung sind.
| Modell | GRM4201 |
| Pumpgeschwindigkeit | 4200 m³/h |
| Enddruck (ohne Spülung) | ≤0,5 Pa |
| Motorleistung | 13 + 10 kW |
| Stromspannung | 380 V (3-phasig) |
| Einlassanschluss | ISO160 |
| Auslassanschluss | KF50 |
| Geräuschpegel (mit Schalldämpfer) | ≤75 dB(A) |
| Gewicht | 1400 kg (Hauptpumpe) |
| Abmessungen – Hauptpumpe (L*B*H) | 1695 * 600 * 1450 mm |
| Abmessungen – Booster (L*B*H) | 295 * 600 * 1450 mm |
| Kühlwasserdruck | 0,1–0,7 MPa |
| Kühlwasserfluss | 8–10 l/min |
| N₂-Spüldruck | 0,2–0,5 MPa |
| N₂-Spülfluss | 0–120 l/min |
| Betriebstemperatur | 5–40°C; ≤80 % relative Luftfeuchtigkeit |