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GRM4201 Große mehrstufige Wurzel-Trockenvakuumpumpe 4200 m3/h Ölfrei für Last-Lock-Transfer

GRM4201 Große mehrstufige Wurzel-Trockenvakuumpumpe 4200 m3/h Ölfrei für Last-Lock-Transfer

Einzelheiten zum Produkt:
Herkunftsort: China
Markenname: Baosi
Zertifizierung: CE
Modellnummer: GRM4201
Detailinformationen
Herkunftsort:
China
Markenname:
Baosi
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
GRM4201
Ultimativer Druck:
≤0,5 Pa
Pumpgeschwindigkeit:
4200 m³/h
Einlass:
ISO160
Abmessungen:
1695×600×1450 mm (Haupt) + 295×600×1450 mm (Booster)
Lärm:
≤ 75 dB (a)
Gewicht:
1400 KG
Hervorheben:

High Light

Hervorheben:

Große Roots-Trockenvakuumpumpe

,

4200 m3h Ladeschleusenvakuum

,

Halbleiterpumpe mit hoher Kapazität

Handelsinformationen
Min Bestellmenge:
1 Satz
Preis:
USD 22000-35000/Set
Verpackung Informationen:
Exportieren Sie Standard-Holzkistenverpackungen
Lieferzeit:
30-45 Werktage
Zahlungsbedingungen:
T/T, L/C
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:
15 SETS/MONTH
Produktbeschreibung
GRM4201 Große mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe – 4200 m³/h Hochleistungslösung

Die GRM4201 ist eine große mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe, die speziell für Load-Lock-Kammern, Transferkammern und schnelle Abpumpanwendungen entwickelt wurde. Mit einer Pumpgeschwindigkeit von 4200 m³/h und einer Doppelmotorkonfiguration von 13+10 kW erfüllt es die Anforderungen der Herstellung von Heterojunction-Solarzellen und Lithiumbatterie-Gigafabriken, bei denen schnelle Zyklen und hohe Vakuumintegrität von entscheidender Bedeutung sind.

Hauptmerkmale
  • Ultrahohe Kapazität:4200 m³/h für schnelle Load-Lock-Abpumpzyklen
  • Mehrstufige Wurzeln + Booster:Hochvakuum mit großem Arbeitsdruckbereich
  • Leistungsstarker Doppelmotor:13+10 kW Permanentmagnet-Synchronmotoren
  • Einzigartiges Rotordesign:Optimiert für niedrigen Energieverbrauch bei hoher Effizienz
  • Ölfreier, sauberer Staubsauger:Keine Ölverschmutzung – ideal für Halbleiter und Solar
  • Präzisionsfertigung:Fortschrittliche CNC-gefräste Rotoren mit vollständiger Austauschbarkeit
  • Dual-End-Lagerunterstützung:Äußerst zuverlässige Rotorunterstützung mit minimaler Vibration
  • Überragende Startzuverlässigkeit:Entwickelt für anspruchsvolle Prozesszyklen
  • Erweiterte Versiegelung:Lippendichtung + Labyrinth-Ölbarriere + Stickstoffspülung – wirklich ölfrei
  • Wassergekühlter, abgedichteter Motor:Eliminiert das Risiko von Öllecks und verlängert die Lebensdauer
  • Intelligente Steuerung:One-Touch-Start/Stopp mit I/O und RS485 (Modbus-RTU)
Technische Spezifikationen
Modell GRM4201
Pumpgeschwindigkeit 4200 m³/h
Enddruck (ohne Spülung) ≤0,5 Pa
Motorleistung 13 + 10 kW
Stromspannung 380 V (3-phasig)
Einlassanschluss ISO160
Auslassanschluss KF50
Geräuschpegel (mit Schalldämpfer) ≤75 dB(A)
Gewicht 1400 kg (Hauptpumpe)
Abmessungen – Hauptpumpe (L*B*H) 1695 * 600 * 1450 mm
Abmessungen – Booster (L*B*H) 295 * 600 * 1450 mm
Kühlwasserdruck 0,1–0,7 MPa
Kühlwasserfluss 8–10 l/min
N₂-Spüldruck 0,2–0,5 MPa
N₂-Spülfluss 0–120 l/min
Betriebstemperatur 5–40°C; ≤80 % relative Luftfeuchtigkeit
Anwendungen
  • Halbleiterfertigung: Schleusenkammern, Transfermodule, Prozessschnittstellen
  • Heterojunction (HJT)-Solarzelle: PECVD-Vakuum, schnelles Abpumpen
  • Gigafabriken für Lithiumbatterien: Massentrocknung und Vakuumverarbeitung von Zellen
  • Vakuumbeschichtung: Ladeschleuse für den Substrattransfer bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung des Kammervakuums