Diese Trockenpumpe ist eine Kernvakuumausrüstung mit hoher Pumpgeschwindigkeit, breitem Druckbereich und stabiler Leistung und wird in folgenden Schlüsselindustrien weit verbreitet:
Das kritischste Anwendungsgebiet ist die Waferverarbeitung, das Chip-Ätzen, die Ionenimplantation, die Dünnschichtdeposition, die Halbleiterverpackung und die Vakuumreinigung von Halbleitergeräten.
Wird auf Vakuumverdampfungsbeschichtung, Magnetron-Sputterbeschichtung, Ionenbeschichtung für Hardware, Glas, Kunststoff, optische Komponenten, Automobilteile und dekorative Filmbeschichtung angewendet.
verwendet für die Vakuumtrocknung von pharmazeutischen Rohstoffen, Vakuumdestillation, Kristallisation, Lösungsmittelrückgewinnung, Gefriertrocknung (Lyofilisierung) biologischer Produkte,und pharmazeutische Produktionsverfahren.
geeignet für die Vakuumdestillation, die molekulare Destillation, die Vakuum-Entgasung, die Vakuumfiltration, die Vakuumzufuhr/Entladung in Reaktionskessel,und Rückgewinnung flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) in der chemischen Produktion.
Wird bei Vakuumverpackungen, Vakuum-Entwässerung, Gefriertrocknung von Lebensmitteln, Vakuumkonzentration von Fruchtsaft/Sirup und Vakuum-Entgasung von Getränkeprodukten angewendet.
Wird für Vakuumschmelzen, Vakuumschmelzen, Vakuumwärmebehandlung, Vakuumsinternen von Metallteilen und Entgasung von Nichteisenmetallen verwendet.
Anwendbar bei der Vakuumsammlung von Abgasen, der Gasgewinnung von Deponien, der Vakuum-Entgasung von Abwasser und bei VOC-Abgasreinigungssystemen.
Kritisch für die Lithiumbatterieproduktion (Elektrodentrocknung, Elektrolytinspritzung, Zellbildung), die Verarbeitung von Photovoltaik-Siliziumwafern, die Wasserstoffproduktion durch Elektrolyse von Wasser,und Brennstoffzellenherstellung.
Wird für Vakuum-Simulationsprüfungen von Luftfahrtkomponenten, Vakuum-Leckage-Erkennung von Flugzeugteilen, Satellitenkomponentenverarbeitung und Vakuum-Thermostests von Luftfahrtgeräten verwendet.
Wird auf Vakuumguss, Vakuumimpregnierung von Gussgegenständen, Formvakuumpumpen und Vakuumabsorption bei der Präzisionsbearbeitung angewendet.
Geeignet für die Vakuumverarbeitung von optischen Linsen, die Vakuumentgasung von Glas, die Herstellung von Glasfasern und das Vakuumbrennen von Glasprodukten.
Hohe Pumpgeschwindigkeit im mittleren und niedrigen Vakuumbereich, starke Rückflusssicherung, stabiler Betrieb unter harten Arbeitsbedingungen,und Kompatibilität mit anderen Vakuumpumpen, um eine Vakuum-Einheit für extrem hohe Vakuumanforderungen zu bilden.
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