Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

BaosiWassergekühltTrockene Vakuumpumpe GRM201,200 m3/h,≤ 0,5 Pa,1.9 kW

Spezifikationen

• geringer Stromverbrauch,
• hohe Pumpgeschwindigkeit,
• starke Staubentfernung,
• Fähigkeit zum Transport von leicht kondensierbaren Prozessgasen.

Durch die stabile Pumpgeschwindigkeit eignet es sich für Prozesse mit hohem Abgasvolumen, bietet hohe Zuverlässigkeit und geringe Betriebs- und Wartungskosten.und anspruchsvolle Verfahren wie PECVD, MOCVD und SiC-CVD in Branchen wie Photovoltaik und Halbleiter.
 

Produktmerkmale

• Benutzt einen Permanentmagnet-Synchronmotor für einen geringeren Energieverbrauch.
• Die fortschrittliche Rotorstruktur erhöht die Staubentfernungskapazität der Pumpe.
• Unempfindlich gegenüber Staub und Wasserdampf im gepumptem Gas;
• Kompakte Struktur, geringe Gesamtgröße und hohe Systemeffizienz;
• Umfassende Schutzfunktionen und starke Anpassungsfähigkeit;
• Niedrige Vibrationen und Geräusche während des Betriebs; ein fortschrittliches Lippendichtungs- und Labyrinthdichtungssystem in Kombination mit Stickstoffreinigung sorgt effektiv für eine ölfreie Pumpenkammer,Verbesserung der Vakuumreinheit der Prozesskammer.
• Fernsteuerungs- und Überwachungsfunktionen sind über die E/A-Schnittstelle und die RS-485-Schnittstelle (Moudbus-Protokoll) möglich.

Technischer Parameter

Pumpenkurve

Zeichnung

Anwendungsbereich:

Es eignet sich für saubere, moderate und anspruchsvolle Prozesse wie PECVD, MOCVD und SiC-CVD in Branchen wie Photovoltaik und Halbleiter.