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GRH1802 Trockene Klauenvakuumpumpe 1800 m3/h Hochgeschwindigkeitsölfreie Vakuumpumpe für die Halbleiterherstellung
GRH1802 Trockene Klauenvakuumpumpe 1800 m3/h Hochgeschwindigkeitsölfreie Vakuumpumpe für die Halbleiterherstellung
  • GRH1802 Trockene Klauenvakuumpumpe 1800 m3/h Hochgeschwindigkeitsölfreie Vakuumpumpe für die Halbleiterherstellung

GRH1802 Trockene Klauenvakuumpumpe 1800 m3/h Hochgeschwindigkeitsölfreie Vakuumpumpe für die Halbleiterherstellung

Einzelheiten zum Produkt:
Herkunftsort: China
Markenname: Baosi
Modellnummer: GRH1802
Detailinformationen
Herkunftsort:
China
Markenname:
Baosi
Modellnummer:
GRH1802
Pumpgeschwindigkeit:
1800 m³/h
Ultimativer Druck:
≤0,5 Pa
Motorleistung:
7,5+4,5 kW
Stromspannung:
380V/3-Phasen
Einlass:
ISO160
Steckdose:
KF40
Lärm:
<70 dB(A)
Gewicht:
472 Kilo
Abmessungen:
935×420×795 mm
Kühlwasser:
0,3–0,6 MPa, 6 l/min
N2-Spülung:
0,25–0,69 MPa, 4–96 l/min
Hervorheben:

High Light

Hervorheben:

Hochgeschwindigkeits-Trockenvakuumpumpe

,

1800m3h Klauenvakuumpumpe

,

Halbleiterprozess-Vakuumpumpe

Handelsinformationen
Min Bestellmenge:
1 Satz
Preis:
USD 20000-280000/Set
Verpackung Informationen:
Exportieren Sie Standard-Holzkistenverpackungen
Lieferzeit:
15-30 Werktage
Zahlungsbedingungen:
T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:
50 Sätze/Monat
Produktbeschreibung

GRH1802 Trockene Klauenvakuumpumpe ¥ 1800 m3/h Ölfreie industrielle Lösung

Die GRH1802 ist eine leistungsstarke Trockenklo-Vakuumpumpe der GRH-Baureihe mit einer Pumpengeschwindigkeit von 1800 m3/h bei einem Höchstdruck von ≤ 0,5 Pa.Sein ölfreier Klauenmechanismus macht ihn ideal für Halbleiter, Photovoltaik- und Lithiumbatterienherstellungsprozesse, die eine kontaminierungsfreie Vakuumumumgebung erfordern.

Wesentliche Merkmale

  • Ölfreier KlauenmechanismusKeine Öl- oder Arbeitsmedien in der Pumpenkammer
  • mit einer Leistung von mehr als 100 W undHöhere Energieeffizienz bei geringeren Betriebskosten
  • Weiterentwickelte Rotorkonstruktion:Verbesserte Staubabgasfähigkeit bei harten Prozessbedingungen
  • Staub und Dampf unempfindlich:Wird mit Staub und Wasserdampf in gepumptem Gas zuverlässig umgegangen
  • Kompakt und integriert:Raumwirtschaftliches Design (935 * 420 * 795 mm, 472 kg)
  • Vollständiger Schutz:Umfassender Schutz mit starker adaptiver Steuerung
  • Niedrige Schwingungen und Geräusche:Unter 70 dB (A) bei Höchstdruck
  • Weiterentwickeltes Versiegelungssystem:Lippendichtung + Labyrinthdichtung + Stickstoffpurge für ölfreies Vakuum
  • Fernüberwachung:I/O- und RS485-Schnittstelle (Modbus) für die Fernbedienung

Technische Spezifikation

ModellGRH1802
Pumpgeschwindigkeit1800 m3/h
Der ultimative Druck≤ 0,5 Pa
Motorleistung7.5 + 4,5 kW
Spannung380 V (3-Phase)
EinlassanschlussISO 160
SteckdoseverbindungKF40
Geräuschpegel< 70 dB (A)
Gewicht472 kg
Abmessungen (L*W*H)935 * 420 * 795 mm
Kühlwasserdruck00,6 MPa
Kühlwasserfluss6 L/min
N2-Auslöschdruck0.25·0,69 MPa
N2-Ausblasfluss4·96 L/min
Betriebstemperatur5°C bis 40°C; ≤ 80% RH

Anwendungen

  • Halbleiter: Etch, Ioneneinpflanzung, CVD (ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • Photovoltaik: Kristallwachstumsöfen, Herstellung von Solarzellen
  • Lithiumbatterie: Vakuumtrocknung der Zelle, Elektrolytfüllung, Entgasung

Schlagworte:

Turbovakuumpumpe,

Hochvakuumpumpe

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