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GRH3001 Trockene Klauenvakuumpumpe 3000 m3/h Ölfreies Design für Halbleiterprozesse

Name: GRH3001 Trockene Klauenvakuumpumpe 3000 m3/h Ölfreies Design für Halbleiterprozesse
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRH3001
Price: 15,650.00 USD
Availability: InStock

Einzelheiten zum Produkt:

Herkunftsort:	China
Markenname:	Baosi
Zertifizierung:	CE
Modellnummer:	GRH3001

Detailinformationen

Herkunftsort:

China

Markenname:

Baosi

Zertifizierung:

Modellnummer:

GRH3001

Pumpgeschwindigkeit:

3000 m-³ /h

Ultimativer Druck:

≤0,5 Pa

Motorleistung:

11+7,5 kW

Stromspannung:

380V/3-Phasen

Einlass:

ISO160

Steckdose:

KF40

Lärm:

≤ 70 DB ((A)

Gewicht:

770 kg

Abmessungen:

922×516×988 mm

Kühlwasser:

0,1–0,6 MPa, 11 l/min

N2-Spülung:

0,2–0,6 MPa, 43/97/123 l/min

Hervorheben:

High Light

Hervorheben:

Hochleistungs Trockenvakuumpumpe

3000m3h Klauenvakuumpumpe

industrielle Halbleitervakuumpumpe

Handelsinformationen

Min Bestellmenge:

1 Satz

Preis:

USD 12800-18500/Set

Verpackung Informationen:

Exportieren Sie Standard-Holzkistenverpackungen

Lieferzeit:

20-35 Arbeitstage

Zahlungsbedingungen:

T/T, L/C

Versorgungsmaterial-Fähigkeit:

30 Sätze/Monat

Produktbeschreibung

GRH3001 Trockene Klauenvakuumpumpe 3000 m3/h Ölfreie Vakuumpumpe mit hoher Kapazität für Halbleiterindustrieprozesse

GRH3001 Trockene Klauenvakuumpumpe ¥ 3000 m3/h Ölfreie Lösung mit hoher Kapazität

Die GRH3001 ist eine Vakuumpumpe mit hoher Kapazität, die eine Pumpgeschwindigkeit von 3000 m3/h bei einem Höchstdruck von ≤ 0,5 Pa liefert. Mit einer leistungsstarken Doppelmotorkonfiguration von 11 + 7,5 kWEs kann die anspruchsvollsten Halbleiter bedienen., Photovoltaik- und Lithiumbatterienherstellungsprozesse bei gleichzeitiger Kontaminationsfreiheit.

Wesentliche Merkmale

Ölfreie Konstruktion mit hoher Kapazität:3000 m3/h Pumpgeschwindigkeit ohne Risiko einer Ölverschmutzung
Zweimotoriges System:11+7,5 kW Dauermagneten-Synchronmotoren für höchste Effizienz
Erweiterter Klauenrotor:Überlegene Staubbehandlung und lange Lebensdauer in rauen Bedingungen
Staub- und Dampfverträglichkeit:Unempfindlich gegen Partikel und Wasserdampf in Prozessgasen
Kompakte Integration:922 * 516 * 988 mm Abdruck mit 770 kg robuster Konstruktion
Umfassender Schutz:Vollständige Sicherheits- und Überwachungsfunktionen mit anpassungsfähiger Steuerung
Niedriggeräuschbetrieb:≤ 70 dB (A) für bequeme Arbeitsumgebungen
Mehrschichtdichtung:Lippendichtung + Labyrinthdichtung + Stickstoffreinigung für garantiertes ölfreies Vakuum
Intelligente Verbindung:Fernüberwachung und Steuerung von E/A und RS485 (Modbus-Protokoll)

Technische Spezifikation

Modell	GRH3001
Pumpgeschwindigkeit	3000 m3/h
Der ultimative Druck	≤ 0,5 Pa
Motorleistung	11 + 7,5 kW
Spannung	380 V (3-Phase)
Einlassanschluss	ISO 160
Steckdoseverbindung	KF40
Geräuschpegel	≤ 70 dB (A)
Gewicht	770 kg
Abmessungen (LWH)	922 * 516 * 988 mm
Kühlwasserdruck	00,6 MPa
Kühlwasserfluss	11 L/min
N2-Auslöschdruck	00,6 MPa
N2-Ausblasfluss	43/97/123 L/min
Betriebstemperatur	5 ̊40°C; ≤ 90% WR

Anwendungen

Halbleiter:Im Rahmen der Anwendung dieser Methode werden die in Anhang I der Verordnung (EU) Nr. 528/2012 festgelegten Anforderungen erfüllt.
Photovoltaik:Kristallwachstum, Herstellung von Solarzellen
Lithiumbatterie:Vakuumtrocknung von Zellen, Elektrolytfüllung, Entgasung

Schlagworte:

GRH3001 Trockene Klauenvakuumpumpe 3000 m3/h Ölfreies Design für Halbleiterprozesse

High Light

Hervorheben:

Hochleistungs Trockenvakuumpumpe

3000m3h Klauenvakuumpumpe

industrielle Halbleitervakuumpumpe

Turbovakuumpumpe,

Hochvakuumpumpe,

Hochleistungs Trockenvakuumpumpe

GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe 1200 m³/h ölfrei für Halbleiter PECVD MOCVD

Wassergekühlte Trocken-Vakuumpumpe 1200 m³/h ≤0,5 Pa GRH1202

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 1200m3/h,≤0,15Pa,1.9kw, GRM1201

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 600m3/h,≤0,15Pa,1.9kw, GRM601