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GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe 1200 m³/h ölfrei für Halbleiter PECVD MOCVD

Name: GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe 1200 m³/h ölfrei für Halbleiter PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Einzelheiten zum Produkt:

Herkunftsort:	China
Markenname:	Baosi
Zertifizierung:	CE
Modellnummer:	GRM1201

Detailinformationen

Herkunftsort:

China

Markenname:

Baosi

Zertifizierung:

Modellnummer:

GRM1201

Pumpgeschwindigkeit:

1200 M3/h

Ultimativer Druck:

≤0,15 Pa

Motorleistung:

1,9+1,9 kW

Stromspannung:

380V/3-Phasen

Einlass:

ISO160

Steckdose:

KF25

Lärm:

≤63 dB(A)

Gewicht:

260 kg

Abmessungen:

865×344×751 mm

Kühlwasser:

0,1–0,6 MPa, ≥4 l/min

N2-Spülung:

0,2–0,6 MPa, 12–50 l/min

Hervorheben:

High Light

Hervorheben:

Hochgeschwindigkeitswurzelvakuumpumpe

1200m3h Trockenvakuumpumpe

PECVD MOCVD Prozessvakuum

Handelsinformationen

Min Bestellmenge:

1 Satz

Preis:

USD 8500-12500/Set

Verpackung Informationen:

Exportieren Sie Standard-Holzkistenverpackungen

Lieferzeit:

15-30 Werktage

Zahlungsbedingungen:

T/T, L/C

Versorgungsmaterial-Fähigkeit:

50 Sätze/Monat

Produktbeschreibung

GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe 1200 m³/h ölfreie Hochgeschwindigkeitsvakuumpumpe für Halbleiter-PECVD-MOCVD

GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe – 1200 m³/h Hochgeschwindigkeitslösung

Die GRM1201 ist eine mehrstufige Hochgeschwindigkeits-Roots-Trockenvakuumpumpe mit einer Sauggeschwindigkeit von 1200 m³/h und einem Enddruck von ≤0,15 Pa. Sie verfügt über die gleiche kompakte Plattform wie die GRM601 (865 * 344 * 751 mm, 260 kg), aber mit einem ISO160-Einlass für höheren Durchsatz. Sie zeichnet sich durch PECVD, MOCVD und anspruchsvolle Halbleiter-Rein- und mittlere Prozessanwendungen aus.

Hauptmerkmale

Hochgeschwindigkeits-Mehrstufenwurzeln:1200 m³/h bei geringem Stromverbrauch
Dualer Motorwirkungsgrad:1,9+1,9 kW Permanentmagnet-Synchronmotoren
Hervorragender Enddruck:≤0,15 Pa erfüllt anspruchsvolle Prozessanforderungen
Ultra-leise:≤63 dB(A) – reinraumtauglicher Geräuschpegel
Großer ISO160-Einlass:Bewältigt einen hohen Gasdurchsatz für Anwendungen im Produktionsmaßstab
Ölfreier, sauberer Staubsauger:Keine Ölverschmutzung für empfindliche Halbleiterprozesse
Überlegene Staubbehandlung:Fortschrittliches Rotordesign für partikelreiche Umgebungen
Kompakte Plattform:Gleicher Platzbedarf wie GRM601 – einfache Linienintegration
Dreifaches Dichtungssystem:Lippendichtung + Labyrinth + Stickstoffspülung garantieren ölfreies Vakuum
Intelligente Konnektivität:I/O und RS485 (Modbus) für die Remote-Fabrikintegration

Technische Spezifikationen

Modell	GRM1201
Pumpgeschwindigkeit	1200 m³/h
Enddruck (ohne Spülung)	≤0,15 Pa
Motorleistung	1,9 + 1,9 kW
Stromspannung	380 V (3-phasig)
Einlassanschluss	ISO160
Auslassanschluss	KF25
Geräuschpegel	≤63 dB(A)
Gewicht	260 kg
Abmessungen (LBH)	865 * 344 * 751 mm
Kühlwasserdruck	0,1–0,6 MPa
Kühlwasserfluss	≥4 l/min
N₂-Spüldruck	0,2–0,6 MPa
N₂-Spülfluss	12–50 l/min
Betriebstemperatur	5–40°C; ≤90 % relative Luftfeuchtigkeit

Anwendungen

Halbleiter: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metallätzung, Siliziumätzung
Photovoltaik: Produktionslinien für Solarzellen mit hohem Durchsatz
Lithiumbatterie: Zelltrocknung und Elektrolytverarbeitung im Produktionsmaßstab
Flachbildschirme: OLED- und LCD-Herstellung

Schlagworte:

GRM1201 Mehrstufige Roots-Trockenvakuumpumpe 1200 m³/h ölfrei für Halbleiter PECVD MOCVD

High Light

Hervorheben:

Hochgeschwindigkeitswurzelvakuumpumpe

1200m3h Trockenvakuumpumpe

PECVD MOCVD Prozessvakuum

Turbovakuumpumpe,

Hochvakuumpumpe,

Hochgeschwindigkeitswurzelvakuumpumpe

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 1200m3/h,≤0,15Pa,1.9kw, GRM1201

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

Wassergekühlte Trockenvakuumpumpe 600m3/h,≤0,15Pa,1.9kw, GRM601